1. Membaca niat sholat tahajud
اُصَلِّى سُنَّةً التَّهَجُّدِ رَكْعَتَيْنِ مُسْتَقْبِلَ الْقِبْلَةِ ِللهِ تَعَالَى
Bacaan latin: "Ushallii sunnata-t-tahajjudi rak'ataini mustaqbilal qiblati lillahi ta'alla."
Artinya: "Aku niat sholat sunnah tahajud 2 rakaat, menghadap kiblat, karena Allah Ta'ala."
2. Takbiratul ihram diikuti doa iftitah
3. Membaca surah Al Fatihah
4. Membaca surah dalam Al-Qur'an
5. Rukuk
6. Itidal
7. Sujud